上海精密仪器仪表有限公司
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测量仪器类
规格：
主机重量 ：2500kg
外形尺寸 ： 1400mmx1100mmx2200mm
测量范围 ： 500mmx500mmx300mm
允许工作重量 ：玻璃工作台30kg，花岗岩工作台250kg
测量示值误差 ：E <=1.5+L/350/2+L/300um
探测误差 ：R<=1.7/2.2um
长度测量系统 ：Renishaw精密光栅尺
分辨率 ：0.1um
探测系统： Renishaw接触式测头系统，CCD非接触式探测系统，激光扫描探测系统（选项），光纤测头（选项）
物镜：高品质测量物镜
控制系统： PC总线DSP三轴矢量控制系统
光源系统：玻璃工作台，高精度同轴平行底光源，顶光源（可选环形光源）
驱动系统：直流侍服DC-Servo
工作压力：（0.4～0.6）MPa
电源：220V±5%,50/60Hz,1500W
使用环境：温度：（20±2）℃（带温度修正），湿度：55％～65％